Ta instrument uporablja brezkontaktno interferometrično merilno metodo z optičnim faznim premikanjem, med merjenjem ne poškoduje površine obdelovanca, lahko hitro izmeri tridimenzionalno grafiko mikrotopografije površine različnih obdelovancev ter analizira in izračuna meritev. rezultate.
Opis izdelka
Značilnosti: Primerno za merjenje površinske hrapavosti različnih merilnih blokov in optičnih delov; globina namerilnega križa ravnila in številčnice; debelina prevleke strukture utora rešetke in morfologija strukture meje prevleke; površina magnetnega (optičnega) diska in magnetne glave Merjenje strukture; Merjenje hrapavosti površine silicijeve rezine in strukture vzorca itd.
Zaradi visoke merilne natančnosti instrumenta ima značilnosti brezkontaktnega in tridimenzionalnega merjenja ter sprejema računalniško krmiljenje in hitro analizo ter izračun merilnih rezultatov. Ta instrument je primeren za vse ravni testiranja in merilnih raziskovalnih enot, merilnih prostorov industrijskih in rudarskih podjetij, delavnic za natančno obdelavo, primeren pa je tudi za visokošolske in znanstvenoraziskovalne ustanove itd.
Glavni tehnični parametri
Območje merjenja globine površinskih mikroskopskih neravnin
Na neprekinjeni površini, ko med dvema sosednjima slikovnima pikama ni nenadne spremembe višine, večje od 1/4 valovne dolžine: 1000–1 nm
Če med dvema sosednjima slikovnima pikama pride do mutacije višine, ki je večja od 1/4 valovne dolžine: 130–1 nm
Ponovljivost meritve: δRa ≤0,5nm
Povečava objektiva: 40X
Številčna apertura: Φ 65
Delovna razdalja: 0,5 mm
Vidno polje instrumenta Vizualno: Φ0,25 mm
Fotografija: 0,13×0,13 mm
Vizualna povečava instrumenta: 500×
Fotografija (opazovano z računalniškega zaslona)-2500×
Merilni niz sprejemnika: 1000X1000
Velikost slikovnih pik: 5,2×5,2µm
Čas merjenja Čas vzorčenja (skeniranja): 1S
Standardna zrcalna odbojnost instrumenta (visoka): ~50 %
Odbojnost (nizka): ~4%
Vir svetlobe: žarnica z žarilno nitko 6V 5W
Valovna dolžina zelenega interferenčnega filtra: λ≒530nm
Polširina λ≒10nm
Dvig glavnega mikroskopa: 110 mm
Dvig mize: 5 mm
Razpon gibanja v smeri X in Y: ~10 mm
Obseg vrtenja delovne mize: 360°
Območje nagiba delovne mize: ±6°
Računalniški sistem: P4, 2,8 G ali več, 17-palčni zaslon z ravnim zaslonom z 1 G ali več pomnilnika